硅半导体晶体生长所有工艺都在高温、腐蚀性环境下运行，耐高温和抗腐蚀的高纯石墨部件广泛应用于晶体生长炉的热区。为了满足硅半导体行业客户的个性化需求，我公司可以定制提供精良的等静压石墨材料及组件，加工后可制成如加热器、坩埚、石墨保温筒、导流筒等。

CZ直拉法单晶炉石墨热场结构