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产品简介
等静压石墨材料用于碳化硅衬底生产用长晶炉的热区,需具备高纯度、耐高温和抗腐蚀等特性,同时具备与涂层相近的热膨胀系数(CTE)。为了满足半导体行业客户对特种石墨的需求,我公司可以按需提供精良的等静压石墨材料及组件。
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等静压石墨材料用于碳化硅衬底生产用长晶炉的热区,需具备高纯度、耐高温和抗腐蚀等特性,同时具备与涂层相近的热膨胀系数(CTE)。为了满足半导体行业客户对特种石墨的需求,我公司可以按需提供精良的等静压石墨材料及组件。